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XRF是如何組成（工作原理）？
Nov11,2023 | 技術文獻
一臺典型的X射線熒光（XRF）儀器由激發源（X射線管）和探測系統構成。
X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。
探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
下圖顯示了最基本的臺式EDXRF分析器的示意
圖基本臺式EDXRF分析儀示意圖
X射線發生器作為X射線源
控制光斑大小的X射線光束光學器件
樣品臺
探測器(分為Si-PIN 與SDD )
前置放大器和數字脈沖處理器處理熒光X射線信號
計算機
