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不同元素發出的特征X射線能量和波長各不相同，因此通過對X射線的能量或者波長的測量即可知道它是何種元素發出的，進行元素的定性分析。同時樣品受激發后發射某一元素的特征X射線強度跟這元素在樣品中的含量有關，因此測出它的強度就能進行元素的定量分析。

因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：

波長色散型（WD-XRF）和 能量色散型（ED-XRF)

市面上常見領域區分

WD-XRF：鋼鐵、水泥

ED-XRF：

1. RoHS檢測分析（企業中快速篩查物料的環保Pb Cd Hg 總Cr 總Br +鹵素Cl）；

2. (銅、不銹鋼等)成分分析；

3. 鍍層檢測（金屬鍍層的厚度測量、電鍍液和鍍層含量的測定）；

4. 貴金屬檢測（黃金、鉑、銀等貴金屬和各種首飾的含量檢測）；

5. 土壤/固廢/煤炭檢測。